Leštiace vankúšiky sú kľúčovým príslušenstvom, ktoré určuje kvalitu povrchu doštičiek v procese chemicko-mechanického leštenia (CMP). Skladajú sa hlavne z materiálov, ako je polyuretánová pena, ktorá má poréznu mikroštruktúru a vysokú odolnosť proti opotrebovaniu. Medzi ich základné funkcie patrí rovnomerný prenos tlaku, skladovanie leštiacej kvapaliny a odstraňovanie zvyškov reakcií. Úpravou tvrdosti možno optimalizovať-jednotnosť formy (WID) a-jednotnosť čipu doštičky. Dizajn drážky priamo ovplyvňuje účinnosť distribúcie leštiacej kvapaliny. Radiálna drážka zlepšuje rýchlosť úberu materiálu, zatiaľ čo prstencová drážka optimalizuje povrchovú úpravu.
Výkon leštiaceho kotúča je určený 7 základnými ukazovateľmi:
1.Hustota: Ovplyvňuje stupeň deformácie
2.Tvrdosť: Regulujte účinnosť mletia
3. Hrúbka: určuje rovnomernosť tlaku
4. Vzor drážky: optimalizácia distribúcie kvapaliny
5.Parametre drážky: šírka/hĺbka ovplyvňujú úložnú kapacitu
6. Špecifikácie vonkajšieho priemeru: je potrebné prispôsobiť veľkosti zariadenia
Zloženie a štruktúra polyuretánovej lešticej podložky
Polyuretánové leštiace vankúšiky zvyčajne používajú ako hlavný materiál-výkonný polyuretán. Polyuretán je druh vysokomolekulárneho polyméru s dobrou elasticitou, odolnosťou proti opotrebovaniu a chemickou stabilitou.
Jeho štruktúra vo všeobecnosti zahŕňa leštiacu vrstvu a podkladovú vrstvu. Leštiaci vrstva je v priamom kontakte s lešteným materiálom a musí mať vhodné charakteristiky tvrdosti, drsnosti a pórovitosti, aby sa dosiahol účinný leštiaci efekt; podkladová vrstva plní najmä úlohu podpory a fixácie lešticej vrstvy, pričom pomáha prenášať leštiaci tlak a udržiavať celkovú stabilitu leštiace podložky.
Výkonnostné charakteristiky polyuretánových leštiacich kotúčov
Vysoká elasticita: môže sa lepšie prispôsobiť povrchu lešteného predmetu a dokonca aj zložité zakrivené povrchy môžu byť leštené rovnomerne, čím sa znižuje lokálny tlak, ktorý je príliš veľký alebo príliš malý počas procesu leštenia CMP, čím sa zlepšuje kvalita leštenia.
Vysoká odolnosť proti opotrebovaniu: Počas dlhodobého{0}}procesu leštenia si môže zachovať svoj vlastný tvar a výkon a nie je ľahké ho opotrebovať, čo predlžuje životnosť leštiace podložky a znižuje náklady na používanie.
Vysoká rovinnosť: Môže zabezpečiť rovinnosť lešteného povrchu, ktorá je nevyhnutná na spracovanie-precíznych optických komponentov, polovodičových čipov atď., a môže spĺňať prísne požiadavky na presnosť povrchu v týchto oblastiach.
Vysoká stabilita: Pri rôznych podmienkach prostredia (ako sú zmeny teploty a vlhkosti atď.) môže polyuretánová leštiaca podložka stále udržiavať stabilitu svojho výkonu a zabezpečiť konzistenciu leštiaceho efektu.